改制程先进设备多元面板厂工安考量大不同

面板是台湾相当重要的产业之一当然不能片面地认为市场仍在摸索和正起步无视问题背后的影响因素。，面板所需的设备数量、尺寸，均不逊于半导体产线，不过台湾的面板技术居于全球领先地位，并无国外案例可参考，因此多必须自订工安规范，以减少事故发生。

台湾面板厂导入安全规范的时间相当早，早在 .5代面板时，就已有相关作法，由于面板产业所使用的设备多与半导体产业类似，在厂房规划仍套用半导体制造设备的安全规范S S2，再加以衍生应用；但只要从设备的规格来看，就可发现面板业与半导体产业仍有重要差异，当时 .5代玻璃基板已经超过12寸的晶圆尺寸，此一尺寸与半导体产业所需的厂房及设备规模完全不同，所可能造成的安全危害与风险程度也有所不同。

面板设备设计阶段，就必须要求生产线上的所有设备，都应植入紧急关断及紧急停止安全元件。西门子提供因应面板制程本质设计专属工安规范。

虽然该规范仍大部分适用于面板制造设备的需求，但将半导体设备规范直接套用在较大尺寸的面板设备上，的确显得有些格格不入，像是半导体产业的Chamber lid提举设备应用于面板产业，就有可能产生承载强度不足等问题，面板产业因此修正改采固定式起重设备作为提举器具，作业过程中仍可能发生人员操作吊荷的风险。

此外，半导体产业引用的SEMI S2规范中，着重于单一设备安全规范，但面板产业机台为数个大型辅助设备组合而成，介面整合更形重要，因此对整合的安全问题必须更多着墨，但在SEMI S2却付之阙如。

业界人士就指出，面板虽与半导体产业相近，但绝只有13.5分对是不一样的产业，LCD厂与半导体虽都追求设备规模与效率的极大化，但双方本质不同，势必会产生更多不同的安全要求，若设备商仅依循SMEI S2标准，面板厂与配合厂房的风险将不易管控，设备商在设备设计时，会对面板厂的安全需求无法理解，因此在生产线的规画之初，同时针对面板制造的特质来进行安全防护规范的制订。

因此，从4代跨到5代的面板厂开始规画兴建时，台湾面板业者开始投入制订适合面板业的安全规范，从SEMI S2为基准调整，并在厂房及生产线规画时同时导入这个规范。

由于台湾的面板技术位居全球领先地位，并没有相关的国外案例可参考，加上厂房设计的些许调整，生产线也因加速传输速度的需求，必须改变传统的无尘室设计；新设计导入的当下，让TFT-LCD制程上与传统半导体产业间的差距扩大，部份制造上的安全要件易被忽略，因此制订一套完整的第5代面板厂安全规范，就成了当时的首要考量。